股票配资在线公司为后续的 CVD 填充制程奠定基础

摘要：本文聚焦海翔科技所提供的泛林半导体 Lam Research ALTUS 系列二手薄膜沉积 CVD 设备。介绍了该系列设备在半导体制造中薄膜沉积环节的重要性，阐述其技术优势，包括 ALD 技术与多站架构实现的精准薄膜沉积等。同时，强调海翔科技提供拆机 / 整机销售，并支持现场验机测试查证的服务，为相关企业在设备采购选择上提供全面参考。

关键词：泛林半导体；ALTUS 系列；二手 CVD 设备；海翔科技

一、引言

在半导体制造工艺中，薄膜沉积是构建半导体器件多层结构的关键步骤。高质量的薄膜沉积对于芯片性能、可靠性至关重要。泛林半导体（Lam Research）作为全球半导体产业创新晶圆制造设备及服务主要供应商，其 ALTUS 系列薄膜沉积 CVD 设备在行业内具有重要地位。海翔科技为满足市场对优质半导体设备的多元需求，推出 ALTUS 系列二手设备，提供拆机 / 整机销售服务，且支持现场验机测试查证，为企业优化设备采购成本、提升生产效率提供了新途径。

二、泛林半导体 ALTUS 系列 CVD 设备技术概述

（一）ALD 与 CVD 结合技术

ALTUS 系列设备融合了原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）技术。通过独特的脉冲式成核层（PNL）ALD 制程生成高质量的成核层，为后续的 CVD 填充制程奠定基础。这种结合能够沉积出高度均匀一致、符合先进金属化应用要求的薄膜。在 3D NAND 堆叠结构的字线填充、DRAM 掩埋字线以及逻辑芯片的金属栅极沉积等先进制程中，该技术优势尤为明显，可有效避免传统 CVD 工艺的氟污染和应力问题。例如，采用低氟钨（LFW）ALD 工艺，氟扩散量比传统 CVD 降低 100 倍，大大减少了对电介质层的腐蚀风险。

（二）多站序列式沉积（MSSD）架构

设备采用专利的多站序列式沉积（MSSD）架构，以四站模块（QSM）为基础，支持多站独立控温。这使得在同一腔室内能够无缝衔接成核层与填充层的沉积过程，精准控制薄膜生长的每一步，提升了薄膜沉积的质量和效率。在逻辑芯片金属栅极沉积中，通过 ALD 钼（Mo）沉积，借助该架构可实现 GAA 晶体管的低电阻金属互联，适配 3nm 以下先进制程。

三、海翔科技提供的设备及服务

（一）拆机 / 整机销售

海翔科技提供 ALTUS 系列二手设备的拆机与整机销售服务。拆机销售可满足企业对特定部件更换或部分设备升级的需求，企业能够根据自身生产线实际情况，灵活选择所需部件，降低设备采购成本。对于希望整体更新或构建新生产线的企业，整机销售则提供了一站式解决方案。海翔科技所售设备均经过严格筛选与检测，部分二手设备还经过专业校准，如光学系统精度和 ALD 脉冲控制能力等关键性能可恢复至新机的 85% 以上，保障设备在后续使用中的稳定性和可靠性。

（二）现场验机测试查证

为增强客户对设备质量的信心，海翔科技支持现场验机测试查证。客户可在设备所在地对设备进行实地检验，通过实际操作运行设备，检测其沉积速率、薄膜均匀性、厚度控制精度等各项关键性能指标，确保设备符合自身生产要求。海翔科技专业技术人员现场提供技术支持与解答，协助客户全面了解设备状况，为客户的采购决策提供有力依据，消除客户在购买二手设备时的质量担忧。

四、应用场景

ALTUS 系列二手 CVD 设备广泛适用于多种半导体制造场景。在存储芯片制造领域，无论是 3D NAND 的大规模生产，还是 DRAM 的工艺优化，其精准的薄膜沉积能力能够满足复杂的结构需求，提升存储芯片的性能和容量。在逻辑芯片制造方面，对于先进制程逻辑芯片中金属栅极等关键结构的沉积，该设备凭借 ALD 技术的原子级精度，可有效保障芯片的高性能和低功耗。同时，对于中小半导体制造企业和研发机构而言，二手设备在具备高性价比的同时，还能提供先进的薄膜沉积技术，助力其开展研发工作和小规模生产，提升企业在市场中的竞争力。

海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。